平成22年度に入り、新たに以下の機器を導入しました。
これらの機器は、今後開放機器として準備が整い次第、登録していきます。
・フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡・X線CT装置・干渉膜厚計・レーザー干渉平面度測定装置・ガスクロマトグラフ質量分析装置・試料断面研磨装置・機構解析支援システム
機器の詳細については以下のPDFファイルをダウンロードすることでご覧いただけます。
平成22年度新規導入機器.pdf(1.03MBytes)