【特許情報】　複合硬質皮膜部材及びその製造方法

標記特許が公開されましたのでお知らせします。

【公開番号】特開２０１１－１６２８６５

【公開日】平成２３年８月２５日

【発明の名称】複合硬質皮膜部材及びその製造方法

【発明者】大淵 裕史*  井手 幸夫　福田 匠（*は職員以外）

【要約】
【課題】ＤＬＣ膜を成膜した非鉄金属材料部材の腐食を抑制できる複合硬質皮膜部材を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、非鉄金属材料からなる被成膜部材２と、前記被成膜部材の表面に形成された酸化珪素膜７と、前記酸化珪素膜上に形成された炭素含有珪素膜８と、前記炭素含有珪素膜上に形成されたダイヤモンドライクカーボン膜９とを具備することを特徴とする複合硬質皮膜部材である。

本特許の詳細をご覧になるには、

特許電子図書館から、特許・実用新案文献番号索引照会WEBサイトを表示させ、
http://www.ipdl.inpit.go.jp/Tokujitu/tokujitu.htm

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