フィールドエミッション走査電子顕微鏡（ふぃーるどえみっしょんそうさでんしけんびきょう）

用途

各種工業材料の組成元素の存在状態、材料の表面状態などの解析（高分解能測定が可能）

仕様

分解能：1.5nm（加速電圧15KV）、5nm（加速電圧1KV）
反射電子検出器、EDS、WDS

メーカー

日本電子（株）

型式

JSM-7000F

機器分類

表面分析

利用区分

料金

3380円／時間

設置年度

平成15年度