マスクアライナー（ますくあらいなー）

用途

フォトリソグラフ工程における露光

仕様

２視野顕微鏡付

メーカー

ユニオン光学株式会社

型式

EMA400

機器分類

材料表面処理

利用区分

料金

1200円／時間

設置年度

平成15年度