干渉膜厚計（かんしょうまくあつけい）

用途

半導体や光学材料などの多層膜の絶対反射率・多層膜解析・膜物性解析（n:屈折率、k:消衰係数）の測定

仕様

測定レンジ：1nm−40μm
膜厚分解能：1nm(SiO2/Si)
測定波長範囲：230nm−800nm
検出器：電子冷却型CCDエリアイメージセンサ 512ch
光源：D2/I2（紫外-可視仕様）

メーカー

大塚電子株式会社

型式

FE-3000YIT

機器分類

形状測定

利用区分

料金

1000円／時間

設置年度

平成22年度