イオンミリング装置（いおんみりんぐそうち）
用途
アルゴンイオンを試料断面に平行に照射して損傷のない断面を作製する装置です。電子部品の不良箇所の観察や材料界面評価のための電子顕微鏡試料の作製に利用できます。
仕様
イオン加速電圧：～8kV
イオンビーム径：500μm以上（半値幅）
ミリングスピード：約100μm/H（加速電圧6kV時）
最大搭載試料サイズ：11mm（幅）×10mm（長さ）×2mm（厚さ）
試料回転ホルダ有
メーカー
日本電子（株）
型式
IB-09020CP
機器分類
材料表面処理
利用区分
料金
1950円／時間
設置年度
平成22年度
