ぐろーほうでんはっこうひょうめんぶんせきそうち

グロー放電発光表面分析装置
用途

アルゴンガス雰囲気中のグロー放電により試料表面をスパッタ(試料表面を構成する原子や分子が叩き出される現象)し、その発光スペクトルを分光、計測することで試料表面及び深さ方向の組成分析を行う。

※現在、測定条件の設定・調整中です。ご利用の際は、機器担当に状況確認をお願いします。
仕様

[発光部]
 ランプ型式:マーカス型
 印加方法:13.56MHz高周波
 測定ノード径:7mm,4mm,2mm,1mm
[分光部]
 ポリクロメーター(主分光器):110~900nm
 モノクロメーター(副分光器):165~780nm
[検出部]
 検出器:光電子増倍管
 分析線(メイン分光器):32本
 分析元素:H~Uまでの32元素
メーカー

(株)堀場製作所
型式

GD-Profiler2
機器分類

無機分析
利用区分

料金

4200円/時間
設置年度

平成26年度