触針式表面形状測定機(しょくしんしきひょうめんけいじょうそくていそうち)
用途
接触式の探針による試料表面の凹凸(表面粗さ、断面形状)の高精度測定
仕様
走査距離:最大50mm以上
垂直方向分解能:1Å以上
触針圧1~40mgf
Ra,Rq,Rp,Rv,Rzdim,MaxRa,Maxdev,Skew,Wa,Wq,Wp,Wv,Wt,Wmaxdev,ASH,AVGHT,Peak,Valley,PV,Area,slope,Radius,Volum,Perim,TIR,Rt
メーカー
日本真空技術(株)
型式
Dektak3ST
機器分類
形状測定
利用区分
料金
530円/時間
設置年度
平成10年度
利用不可