真空蒸着装置|（電子線マイクロアナライザー付属）（しんくうじょうちゃくそうち）

用途

真空に引いたベルジャー内で金属蒸着源やカーボンロッドを加熱し、試料に金属やカーボンを蒸着する装置
電子顕微鏡試料の導電コーティング等に使用する

仕様

到達圧力：3×10-4Pa以下
蒸着用電極2組（カーボンロッド用、プレートヒーター用）

メーカー

日本電子（株）

型式

JEF-400

機器分類

材料表面処理

利用区分

料金

580円／時間

設置年度

平成1年度