ますくあらいなー

マスクアライナー
用途

フォトリソグラフ工程における露光
仕様

2視野顕微鏡付
メーカー

ユニオン光学株式会社
型式

EMA400
機器分類

材料表面処理
利用区分

料金

1,160円/時間
設置年度

平成15年度