れーざーしきうんどうせいどそくていそうち

レーザー式運動精度測定装置
用途

工作機械の校正や精度検査
精密駆動装置の運動精度計測
仕様

長さ測定:40m、分解能0.01μm
速度測定:18m/min、分解能0.1mm/min
角度測定:ピッチ及ヨー運動±1度、分解能0.1秒
真直度測定:30m、分解能0.01μm
メーカー

横河・ヒューレット・パッカード株式会社
型式

5528A
機器分類

形状測定
利用区分

所外利用可
料金

410円/時間
設置年度

昭和63年度