かんしょうまくあつけい

干渉膜厚計
用途

半導体や光学材料などの多層膜の絶対反射率・多層膜解析・膜物性解析(n:屈折率、k:消衰係数)の測定
仕様

測定レンジ:1nm-40μm
膜厚分解能:1nm(SiO2/Si)
測定波長範囲:230nm-800nm
検出器:電子冷却型CCDエリアイメージセンサ 512ch
光源:D2/I2(紫外-可視仕様)
メーカー

大塚電子株式会社
型式

FE-3000YIT
機器分類

形状測定
利用区分

料金

960円/時間
設置年度