しょくしんしきひょうめんけいじょうそくていそうち

触針式表面形状測定機
用途

接触式の探針による試料表面の凹凸(表面粗さ、断面形状)の高精度測定
仕様

走査距離:最大50mm以上
垂直方向分解能:1Å以上
触針圧1~40mgf
Ra,Rq,Rp,Rv,Rzdim,MaxRa,Maxdev,Skew,Wa,Wq,Wp,Wv,Wt,Wmaxdev,ASH,AVGHT,Peak,Valley,PV,Area,slope,Radius,Volum,Perim,TIR,Rt
メーカー

日本真空技術(株)
型式

Dektak3ST
機器分類

形状測定
利用区分

料金

530円/時間
設置年度

平成10年度