しんくうじょうちゃくそうち

真空蒸着装置|(電子線マイクロアナライザー付属)
用途

真空に引いたベルジャー内で金属蒸着源やカーボンロッドを加熱し、試料に金属やカーボンを蒸着する装置
電子顕微鏡試料の導電コーティング等に使用する
仕様

到達圧力:3×10-4Pa以下
蒸着用電極2組(カーボンロッド用、プレートヒーター用)
メーカー

日本電子(株)
型式

JEF-400
機器分類

材料表面処理
利用区分

料金

560円/時間
設置年度

平成1年度