すぱったりんぐそうち

スパッタリング装置
用途

金属やセラミック膜を真空中で試料表面に形成する装置
本装置は、コンピュータ制御により多層膜、傾斜膜が自動的に形成可能
仕様

3源マグネトロンスパッタ源(500W以上)
基板冷却加熱回転機構(300℃常用以上)
ELディスプレイ付き
メーカー

神港精機(株)
型式

SRV4311
機器分類

材料表面処理
利用区分

料金

13,110円/日
設置年度

平成10年度