令和４年度に公益財団法人JKAのオートレースによる補助を受け、「レーザー顕微鏡」、「高精度表面粗さ輪郭形状測定機」、「マイクロビッカース硬度計」を整備しました。

これらの機器は、開放機器として企業の皆様にご利用いただけます。

レーザー顕微鏡

【用途】

   蒸着・切断・加工などの前処理無しで、対象物の表面形状の観察（非接触）をする機器です。カラー撮影光学系による高精細な表面観察画像と、レーザー光学系による表面凹凸形状の３D測定および表面粗さの評価が可能です。

【仕様】

　・総合倍率：54X～17,280X

　・視野サイズ：16～5,120μｍ

　・表示分解能：（高さ測定）0.5nm、（幅測定）1nm

　・XYステージ：100×100mm

　・サンプル最大高さ：210mm

【メーカー】

エビデント株式会社

【型式】

　LEXT　OLS5100-EAT

【使用料】

　1,360円/時間

高精度表面粗さ輪郭形状測定機

【用途】

   製品・部品等の表面性状測定（JIS B0681:2018(三次元粗さ）およびJIS B0601:2013（線粗さ）準拠）、輪郭形状、段差等について触針による接触測定・評価を行うことが可能です。

【仕様】検出器：3種類切替式

　＜ハイブリッド検出器（粗さ・輪郭測定）＞

　 触針アーム50mmのとき　　測定範囲（Z軸）：13ｍｍ、

　 分解能：0.9nm

　 触針アーム100mmのとき　測定範囲（Z軸）：26ｍｍ、

　 分解能：1.8nm

　＜粗さ測定検出器＞

　 測定範囲（Z軸）：6.4～1000μm、分解能：0.1～

　 20nm（Z軸の測定範囲による）

　＜輪郭測定検出器＞

　 測定範囲（Z軸）：60mm、分解能：0.04μm

【メーカー】

株式会社東京精密

【型式】

SURFCOM　NEX　231　DX2-14　

【使用料】

2,040円/時間

マイクロビッカース硬度計　　

【用途】

   金属材料を中心に低荷重でのビッカース硬度を測定する機器です。特に金属部品の熱処理や表面処理（浸炭層深さ測定や硬度分布など）の評価に利用できます。

【仕様】

　・試験力：0.4903～19610（ｍN）

　・対物レンズ倍率：10X、20X、50X、100X

　・テーブルサイズ：100×100mm（移動範囲：25ｘ25mm）

　・最大積載質量：3kg

【メーカー】

ミツトヨ株式会社

【型式】

HM-220B

【使用料】

760円/時間