超微小押込み硬さ試験機（ちょうびしょうおしこみかたさしけんき）

用途

薄膜の硬度・ヤング率の測定と材料特性評価

仕様

荷重範囲：0.1mN～1N
測定範囲：0～20μm
　分解能：0.3nm
試料最大サイズ：φ50×5mm
視野倍率：対物レンズ20倍（CRT倍率、約350倍）

メーカー

(株)エリオニクス

型式

ENT-1100a

機器分類

材料硬さ・摩耗試験

利用区分

料金

1310円／時間

設置年度

平成15年度