フィールドエミッション走査電子顕微鏡（ふぃーるどえみっしょんそうさでんしけんびきょう）

用途

各種工業材料の組成元素の存在状態、材料の表面状態などの解析（高分解能測定が可能）

仕様

分解能：1.5nm（加速電圧15kV）、5nm（加速電圧1kV）
検出器：EDSのみ
※WDSは故障中のため使用できません

メーカー

日本電子（株）

型式

JSM-7000F

機器分類

表面観察・分析

利用区分

料金

3240円／時間

設置年度

平成15年度