フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡（ふぃーるどえみっしょんおーじぇでんしけんびきょう）

用途

酸化皮膜等の極表面(表面から数nmの深さまで)の成分分析およびイオンスパッタリング法による深さ方向の元素組成の変化(デプスプロファイル)の測定。面分析可能。

仕様

フィールドエミッション電子銃
加速電圧0.5-30kV

メーカー

日本電子株式会社

型式

JAMP-9500F

機器分類

表面観察・分析

利用区分

料金

8640円／時間

設置年度

平成22年度