グロー放電発光表面分析装置（ぐろーほうでんはっこうひょうめんぶんせきそうち）

用途

アルゴンガス雰囲気中のグロー放電により試料表面をスパッタ（試料表面を構成する原子や分子が叩き出される現象）し、その発光スペクトルを分光、計測することで試料表面及び深さ方向の組成分析を行う。

仕様

[発光部]
　ランプ型式：マーカス型
　印加方法：13.56MHz高周波
　測定ノード径：7mm,4mm，2mm,1mm
[分光部]
　ポリクロメーター(主分光器)：110～900nm
　モノクロメーター(副分光器)：165～780nm
[検出部]
　検出器：光電子増倍管
　分析線(メイン分光器)：32本
　分析元素：H～Uまでの32元素

メーカー

(株)堀場製作所

型式

GD-Profiler2

機器分類

無機分析

利用区分

料金

4340円／時間

設置年度

平成26年度