蛍光X線膜厚計(けいこうえっくすせんまくあつけい)

用途

極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体など)
NiP膜の組成分析、厚さ測定

仕様

測定可能元素:Al(13)~U(92)
コリメーター数/サイズ:4種/φ0.1mm~φ3mm

メーカー

株式会社フィッシャー・インストルメンツ

型式

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD

機器分類

無機分析

利用区分

料金

710円/時間

設置年度

平成30年度