蛍光Ｘ線膜厚計（けいこうえっくすせんまくあつけい）

用途

極薄膜や多層膜の検査（電子・半導体など）
NiP膜の組成分析、厚さ測定

仕様

測定可能元素：Al（13)～U(92)
コリメーター数/サイズ：4種/φ0.1mm～φ3mm

メーカー

株式会社フィッシャー・インストルメンツ

型式

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD

機器分類

表面分析

利用区分

料金

710円／時間

設置年度

平成30年度