高精度表面粗さ輪郭形状測定機（こうせいどひょうめんあらさりんかくけいじょうそくていき）

用途

製品・部品等の表面性状測定(JIS B0681:2018(三次元粗さ)及びJIS B0601:2013(線粗さ)準拠)、輪郭形状、段差等の測定・評価を触針による接触測定で行う。

仕様

検出器：３種類切替式
［ハイブリッド検出器（粗さ・輪郭測定）］
　・触針アーム：50mm
　　測定範囲（Z軸）：13mm，測定分解能：0.9nm
　・触針アーム：100mm
　　測定範囲（Z軸）：26mm，測定分解能：1.8nm
［粗さ測定検出器］
　・測定範囲（Z軸）：6.4～1000μm
　・測定分解能：0.1～20nm（Z軸の測定範囲により変化）
［輪郭測定検出器］
　・測定範囲（Z軸）：60mm
　・測定分解能：0.04μm
三次元粗さ用測定台：120（W）×100（D）mm（許容積載重量5kg）

メーカー

株式会社東京精密

型式

SURFCOM NEX 231 DX2-14

機器分類

形状測定

利用区分

料金

1620円／時間

設置年度

平成34年度