レーザー顕微鏡（れーざーけんびきょう）

用途

蒸着・切断・加工などの前処理なしで、対象物の表面形状の観察・測定（非接触）が行える機器です。
カラー撮影光学系による高精細な表面観察画像と、レーザー光学系による表面凹凸形状の３Ｄ測定および表面粗さの評価が可能です。

仕様

総合倍率：108X - 17,280X
視野サイズ：16μm - 2,560μm
レーザー光源：
　［波長］405nm
　［クラス］Class 2 （JIS C6802:2014）
撮影可能な画像の種類：
　カラー画像、カラー微分干渉画像
　反射型共焦点レーザー顕微鏡画像
　反射型共焦点レーザー微分干渉顕微鏡画像
表示分解能：
　［高さ測定］0.5nm
　［幅測定］1nm
ＸＹステージ：100（W）×100（D）mm（許容積載重量3kg）
サンプル最大高さ：210mm

メーカー

株式会社エビデント

型式

OLS5100-EAT

機器分類

形状測定

利用区分

料金

1360円／時間

設置年度

平成34年度