超微小押し込み硬さ試験機（ちょうびしょうおしこみかたさしけんき）

用途

薄膜、材料極表面、微小領域に対する硬度・ヤング率等の測定

仕様

荷重範囲：5μN～2000mN
荷重分解能：5nN
変位測定範囲：±50μm
変位分解能：0.3pm
試料最大サイズ：φ50mm×t10mm

メーカー

(株)エリオニクス

型式

ENT-5

機器分類

材料硬さ・摩耗試験

利用区分

料金

2490円／時間

設置年度

平成37年度