触針式表面形状測定機（しょくしんしきひょうめんけいじょうそくていそうち）

用途

接触式の探針による試料表面の凹凸（表面粗さ、断面形状）の高精度測定

仕様

走査距離：最大50mm以上
垂直方向分解能：1Å以上
触針圧1～40mgf
Ra,Rq,Rp,Rv,Rzdim,MaxRa,Maxdev,Skew,Wa,Wq,Wp,Wv,Wt,Wmaxdev,ASH,AVGHT,Peak,Valley,PV,Area,slope,Radius,Volum,Perim,TIR,Rt

メーカー

日本真空技術（株）

型式

Dektak3ST

機器分類

形状測定

利用区分

料金

530円／時間

設置年度

平成10年度