開放機器一覧
機器分類：材料表面処理
| 機器名称 | 用途 | 使用料金 | 備考 |
|---|---|---|---|
| イオンミリング装置 | アルゴンイオンを試料断面に平行に照射して損傷のない断面を作製... | 1,620円／時間 | |
| 真空蒸着装置|（電子線マイクロアナライザー付属） | 真空に引いたベルジャー内で金属蒸着源やカーボンロッドを加熱し... | 580円／時間 | |
| スパッタリング装置 | 金属やセラミック膜を真空中で試料表面に形成する装置 | 12,360円／日 | |
| 超臨界処理装置 | 超臨界炭酸ガスを用いた化学処理、抽出、洗浄等の基礎的な実験に... | 620円／時間 | 利用不可 |
| ドライフィルムラミネーター | ドライフィルムの加熱圧着 | 850円／時間 | |
| 反応スパッタリング装置 | スパッタリング法およびプラズマＣＶＤ法によりセラミックス膜や... | 11,200円／日 | |
| マスクアライナー | フォトリソグラフ工程における露光 | 1,200円／時間 |