ちょうびしょうおしこみかたさしけんき |
超微小押込み硬さ試験機 |
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用途 薄膜の硬度・ヤング率の測定と材料特性評価
仕様 荷重範囲：0.1mN～1N
測定範囲：0～20μm 分解能：0.3nm 試料最大サイズ：φ50×5mm 視野倍率：対物レンズ20倍（CRT倍率、約350倍） メーカー (株)エリオニクス
型式 ENT-1100a
機器分類 材料硬さ・摩耗試験
利用区分 料金 1,310円／時間
設置年度 2003年度
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